伺服行星減速機容易受到溫度的影響，當伺服減速機溫度超過最高工作溫度，或溫升超過規定，或溫升雖然未超過規定但在低負荷時溫升突然增大時，說明伺服減速機有故障。

　　1、絕緣材料的極限工作溫度，是指伺服減速機在設計預期壽命內，運行時繞組絕緣中最熱點的溫度。如果運行溫度長期超過材料的極限工作溫度，則絕緣的老化加劇，壽命大大縮短。所以伺服行星減速機在運行中，溫度是壽命的主要因素之一。

　　2、溫升是伺服行星減速機與環境的溫度差，是由伺服減速機發熱引起的。溫升是伺服行星減速機設計及運行中的一項重要指標，標志著減速機的發熱程度，減速機在運行中，如溫升突然增大，說明星減速機有故障，或風道阻塞或負荷太重。

　　3、運行中的伺服行星減速機鐵芯處在交變磁場中會產生鐵損，繞組通電后會產生銅損，還有其它雜散損耗等。這些都會使伺服減速機溫度升高。另一方面伺服行星減速機也會散熱，當發熱與散熱相等時即達到平衡狀態，溫度不再上升而穩定在一個水平上。當發熱增加或散熱減少時就會破壞平衡，使溫度繼續上升，擴大溫差，則增加散熱，在另一個較高的溫度下達到新的平衡。